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CMP的主要工艺参数有：抛光时间、磨头向下压力、转盘速度日本HD旋转伺服谐波SHA32Y120CG-B12B2、磨头速度、磨料化学成分、磨料流速、抛光垫修整、硅片/磨料温度、硅片背压。
CMP工作过程的一个重要工艺步骤是终点检测，日本HD旋转伺服谐波SHA32Y120CG-B12B2常使用两种方法，一是电机电流终点检测，在抛光时硅片上不同材料的摩擦特性不一致，那么磨头电机感受到的阻力会有不同变化，电机电流也会相应发生变化。通过检测电机电流变化判断抛光过程是否进入不同材料层，从而判断是否到达抛光终点。二是光学终点检测日本HD旋转伺服谐波SHA32Y120CG-B12B2，该技术是基于光的反射系数，在反射光谱学中，光从膜层上反射的不同角度与膜层材料和厚度有关
品牌HarmonicDrive
型号SHA32Y120CG-B12
类型谐波减速器
载荷状态强冲击载荷
传动比级数双级
轴的相对位置立式加速器
传动布置形式分流式
加工定制是
样品或现货现货
齿面硬度软齿面
布局形式摆线式
用途减速机
输入转速1450rpm
额定功率15kw
输出转速范围111rpm
许用扭矩691N.m
使用范围矿产
减速比99
产地日本
上海浜田实业有限公司
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式代理商-私营有限责任公司
- 联系人张工
- 联系手机13162861726
- 联系固话1316-2861726
- 公司地址上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室
主营业务
上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
上海浜田实业有限公司专业致力于传动控制行业。面向工业机器人、半导体、机床、医疗器械、船舶、点胶、印刷、精密电子设备等行业中的运动控制技术。
上海浜田实业有限公司为日本哈默纳科（HarmonicDrive简称HD）中国地区一级代理商，日本HDSI公司是整体运动控制的领军企业，其生产的HarmonicDrive谐波减速机，具有轻量、小型、传动效率高、减速范围广、精度高等特点，被广泛应用于各种传动系统中。
专业的技术，完善的售后，让您的选择无后顾之忧，欢迎您的来电洽谈！
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