【光学镀膜真空泵】膜厚均匀性±1nm | 分子泵+干泵机组

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【光学镀膜真空泵】膜厚均匀性±1nm | 分子泵+干泵机组 | 支持氦质谱检漏

来自东莞市飞粤真空科技有限公司

¥23999.00

发布时间 2025-03-29 10:59:33 关注次数 14

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【光学镀膜真空泵】膜厚均匀性±1nm | 分子泵+干泵机组 | 支持氦质谱检漏

普旭油式真空泵在光学镀膜与广电机械行业的技术赋能  高洁净真空环境
行业核心需求与挑战
1. 光学镀膜领域
- 需求：
✔ 极限真空度 ≤5×10⁻⁴ Pa（磁控溅射/PVD镀膜）
✔ 油蒸汽返流率＜5×10⁻⁸ mg/cm²·min（防止膜层污染）
- 痛点：
➤ 传统扩散泵存在油污染风险
➤ 分子泵维护成本高昂（年均¥8-12万）
2. 广电机械领域
- 需求：
✔ 连续运行稳定性（7×24小时广电设备生产）
✔ 快速抽气能力（腔体容积1-5m³需15分钟内达标）
- 痛点：
➤ 油雾排放影响洁净车间评级
➤ 突发停机导致镀膜良率下降30%+
普旭RVX系列油式真空泵技术亮点
1. 超洁净真空环境保障
- 五级油雾捕集系统：
- 集成机械离心+低温冷凝+活性炭吸附技术
- 油蒸汽返流率＜2×10⁻⁹ mg/cm²·min**（优于ISO8573-1 Class 0标准）
- 全金属密封设计：
- 采用氟橡胶+不锈钢复合密封圈，漏率＜1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
2. 精密工艺适配性
- 智能真空梯度控制：
- 配备PID调节阀，真空度波动范围±0.5%（常规系统±3%）
- 多级抽速切换：
- 50-1000m³/h无级调速，适应镀膜不同阶段（预抽/维持/冷却）
3. 工业级可靠性设计
- 耐腐蚀强化：
- 泵体镀镍处理+专用抗氧化真空油（酸气耐受pH2-12）
- 智能预警系统：
- 实时监测油温（精度±1℃）、振动（＜2.8mm/s）、颗粒物浓度

与竞品的关键性能对比

指标	某进口分子泵	普旭RVX油式泵
极限真空度	1×10⁻⁶ Pa	5×10⁻⁴ Pa
购置成本	¥48万起	¥18-25万
年维护费用	¥9.6万	¥2.8万
启动到工作真空时间	45分钟（需预热）	＜8分钟

典型应用案例
案例1：光学镜头镀膜生产线升级
- 客户：华南某光学器件上市公司
- 方案：
- 采用RVX630D+罗茨泵组（三级串联）
- 加装油蒸汽低温捕集器
- 成效：
✅ 膜层瑕疵率从0.7%降至 0.12%
✅ 镀膜周期缩短 22%（单日产能提升至3800片）
✅ 洁净室等级维持 Class 1000 标准
案例2：广电真空干燥设备改造
- 客户：华东广电设备制造商
- 方案：
- 替换原有3台水环泵为RVX200D×2（一用一备）
- 成效：
✅ 干燥效率提升 40%（单批次耗时从4h→2.4h）
✅ 年度电费节省¥17.3万
✅ 设备无故障运行突破 12,000小时

技术优势
✔ 经济性：综合成本较分子泵降低60%，回报周期＜14个月
✔ 洁净度：油蒸汽控制达半导体级标准，保障镀膜良率
✔ 智能化：支持Modbus/TCP协议，无缝接入工业4.0控制系统
✔ 可靠性：MTBF（平均无故障时间）突破30,000小时

品牌普旭

型号0300

输送介质油泵

驱动方式电动泵

介质温度类型常温泵

材质铸铝

最大出口压力类型中压泵(4MPa＜Pd＜32MPa)

叶片式泵叶轮级数单级泵

叶片式泵吸入方式单吸泵

叶片式泵叶轮形式封闭式叶轮

叶片式泵壳体型式节段式

叶片式泵泵轴位置卧式泵

结构类型离心式

颜色黑色白色

产地广东东莞

东莞市飞粤真空科技有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式经销商-私营有限责任公司
联系人刘瑜洁
联系手机15079723172
联系固话0769-81821682
公司地址东莞市寮步镇向西村振南四巷9号1楼

主营业务

进口真空泵，进口真空泵配件，真空泵维修保养

东莞市飞粤真空科技有限公司位于广东省东莞市寮步镇，公司成立于2012年，是一家专业生产、销售真空设备及进口真空泵维修、提供真空系统解决方案的高新科技企业，为广大用户提供可靠的、安全易用的真空设备及优质专业的服务。公司拥有一支集研发、生产、销售、售后为一体的强大队伍，优质的真空泵产品、专业的真空技术、在真空系统建造方面有丰富的经验以及快速响应的服务，为客户提供理想、完善的真空解决方案并赢得了广泛认可。　公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养，真空泵机组及中央真空系统设计安装；主营品牌:德国BUSCH普旭，Rietschle里其乐/伟力，Leybold莱宝，Becker贝克，英国BOC Edwards爱德华，日本ULVAC爱发科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法国ALCATEL阿尔卡特，德国Pfeiffer普发,韩国KODIVAC大亚、DOVAC斗一等国际知名品牌；飞粤真空定制的真空系统广泛用于电子半导体、太阳能光伏、生物制药、食品业、印刷业、汽车、自动化工程等行业。专业技术团队可为不同需求客户定制中央真空系统（厂务真空系统），设计、安装、调试一条龙服务。在高速成长的过程中，飞粤真空本着专业务实的实干精神，以不断优化客户体验为己任，精益求精为客户提供一流的真空设备产品服务，公司愿与新老客户合作伙伴携手共进，同谋发展，共创辉煌。