尼康干涉物镜10倍参数介绍
尼康干涉物镜10倍参数介绍

     干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等

也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。

从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，

更宽的视场和更大的焦深。Mir

详情介绍

干涉物镜

2.5x 5x 10x 20x 50x100x

工作距离（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.42.0

NA（数值孔径） 0.055 0.15 0.30 0.450.55 0.7

FOV（mm）1 5093×3818 2546×19091270×950 637×477 254×190 127×95

空间采样（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.830.33 0.17

光学分辨率 蓝光（L&S）（mm）3 2.550.93 0.46 0.31 0.25 0.20

光学分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.041.11 0.56 0.37 0.30 0.24

大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o42o

垂直分辨率（nm）PSI7

垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT0.01nm）

垂直分辨率（nm）VSI7 1nm5mm

垂直范围PSI(mm) 5mm

垂直范围ePSI(mm) 100mm

垂直范围VSI(mm) 10mm

扫描速率（mm/s） PSI：3-15mm/sVSI/ePSI：4-18mm/s

一般测量时间（s）9 PSI：3s VSI：10sePSI：30s


物镜的结构进行必要的解析，旨在帮助用户、读者更加了解物镜。

我们就以基本的平场消色差物镜（PlanAchromat）和平场复消色差物镜（Plan Apochromat）为例，对其内部结构进行分析图解。





上图所示，为奥林巴斯物镜剖面图，我们可以通过上图清晰看到物镜的内部结构，可以看出，显微镜物镜的内部均为透镜组合，多个透镜组合是为了弥补单个透镜成像的缺陷，提高物镜的光学质量。显微镜的放大作用主要取决于物镜，物镜质量的好坏直接影响显微镜映像质量，它是决定显微镜的分辨率和成像清晰程度的主要部件，对物镜的校正是很重要的。



物镜的结构复杂，制作精密，用户在选购时，一定要对自己的使用需求有充分的了解，选择的商家进行购买。