NanoXSpot 测量仪 (NxS)

 全新测量仪设计 NxS-1020 最终确定：

• 使用新开发的算法进行焦点测量和特性分析

• 全新焦点 CT 重建算法

 样品支架设计便于测量仪使用

 NxS 测量仪上的图案组（4 个象限）：

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 3-12 µm（Q1）

• 会聚线组图案（Q2 和 Q3）（类似于西门子星）

• 直径为 5 µm 至 1 mm 的孔图案（Q4）

重新设计的 NxS-1022b 仪表

 样品架设计便于使用仪表

 NxS 仪表上的图案组（4 个象限）：

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 4-20 µm（Q1）

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 63 µm（Q2）

• 直径为 5 µm 至 1000 µm 的孔图案（Q3）

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 25-50 µm（Q4）

外形尺寸：10 mm x 10 mm 芯片尺寸（带蓝宝石玻璃盖的支架：40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米）

材料

衬底：200 μm 厚硅

吸收器：8 μm 高的金
线宽/间距：公差：+/- 15%
图形线宽 [μm]：4 个象限，每个象限 4 mm x 4 mm;2 个经过改进的西门子星形，具有圆孔和 5 条平行金线，线宽和间距分别为 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小线宽：3 μm。最小孔径：5 μm