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福润德石英软领
来自：青岛福润德微电子设备有限公司
1人民币
发布时间：2024-10-18
关注次数：7
产品参数
商品详情
Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成，用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温，
解决了以往用保温棉存在的两大问题：
一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度，
二是手动堵塞保温棉不均匀，影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下，不粉化，不硬化，不氧化，不变形，防震、耐腐蚀。
技术指标：
产品尺寸：根据客户扩散炉或PECVD设备炉体口径定制
使用温度：≤1287℃
线性收缩：≤0.1%
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