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福润德石英软领
来自:青岛福润德微电子设备有限公司
1人民币
发布时间:2024-10-18
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产品参数

商品详情
Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,
解决了以往用保温棉存在的两大问题:
一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,
二是手动堵塞保温棉不均匀,影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不硬化,不氧化,不变形,防震、耐腐蚀。
技术指标:
产品尺寸:根据客户扩散炉或PECVD设备炉体口径定制
使用温度:≤1287℃
线性收缩:≤0.1%
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