二手日本光驰窄带滤光片/介质膜/ITO膜/金属膜光学镀膜机OTFC-1550CBI/DBI介绍

设备尺寸：

设备名称 OTFC-1550CBI/DBI

真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H)

&：

工件架 φ1400mm

工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)

光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源 电子枪2套

离子源 17cmRF离子源

机械性能：

排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

达到压力 7.0×10-5Pa 以下

排气时间 15分（大气压～1.3×10-3Pa)

基板温度 ：350℃

工作条件：

设备尺寸 约5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)

电源 3相,200v,50/60Hz, 约120KVA

水流量 180升/分以上

空气压力 0.5MPa以上

重量 约10000kg

1.机械泵分类：机械泵种类繁多，常用滑阀式（主要用于大型设备）、四种类型的活塞往复式、定片式和旋片式(目前应用***，本文主要介绍)。

2.机械泵从大气中工作，其主要参数为极限真空和抽气速率，是设计和选择机械泵的重要依据。单级泵可将容器从大气泵送到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可将容器从大气泵送到6.7*10-2帕，甚至更高。泵送速率是指旋片泵按额定转数运行时，单位时间内排出的气体体积，可以用以下公式计算：Sth=2nvs=2nfsLL2nfs fs表示空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每周旋转两次，Vs表示当转子处于水平位置时，空腔体积，速度为n。机械泵的排气效果也与电机的速度和皮带的松紧度有关。当电机皮带松动，电机速度慢时，机械泵的排气效果会变差。因此，需要定期维护和检查。机械泵油的密封效果也需要定期检查。油太少，无法达到密封效果。泵内会漏气，油太多，堵塞吸气孔，无法吸气和排气。一般来说，

3.机械泵常用于去除干燥空气，但不能去除含氧量高、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵通常用于去除***性气体，但对水气没有良好的影响，因此不能去除水气。旋转泵的主要部件是定子、转子、弹片等，转子在定子中，但与定子不同，如两个内切割圆，转子槽中有两个弹片，两个弹片中间有弹簧，以确保弹片靠近定子的内壁。

镀膜机设备清单

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