BROOKS热质量流量阀的主要功能是测量和控制气体的质量流量。它基于热式传感器技术,利用精密加工的芯片来检测流量并计算气体的质量流量。这种设备使用微小的加热电流来加热喉部，通过检测喉部温度的变化来计算出流量。
主要功能
1.高精度测量: BROOKS质量流量计的精度可以达到0.1%，比传统的流量计高出数倍。
2.广泛适用性:能够测量多种气体和气体混合物的质量流量，适用于工业生产、科研实验、生命科学等多个领域。
3.快速响应:具有快速响应的特点，能够实时响应流量变化。
4.低阻力:与管道的直径相同，不会增加管道的阻力。
5.易于安装和维护:结构简单，安装和维护都十分便捷。
应用场景
1.半导体制造:在各种工艺步骤中实现高精度的气体流量控制，包括沉积、刻蚀、清洗等
2.医疗器械:提供高精度的气体流量控制，确保给药量的准确性和一致性，适用于吸入氧气、麻醉剂等治疗和监护任务。
3.工业生产:在生产过程中实现精确的流量调节，消除介质变化和传感器漂移等因素引起的误差。