半导体封装真空脱泡：普旭油式真空泵10秒快速抽真空技术

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发布时间 2025-04-08 10:31:11 关注次数 12

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图文介绍产品参数供应商信息

半导体封装真空脱泡：普旭油式真空泵10秒快速抽真空技术

应用场景
在半导体芯片封装工艺中，环氧树脂填充是防止湿气渗透与机械损伤的关键步骤。传统真空脱泡技术因抽真空速度慢（通常需30秒以上），导致树脂内残留微小气泡，引发空洞缺陷，影响芯片可靠性（如焊点开裂、热应力集中）。普旭油式真空泵通过10秒极速抽真空技术，彻底消除气泡残留，成为先进封装（如Fan-out、3D IC）工艺的核心设备。
产品特点
1. 双级旋片加速技术
- 采用双级旋片串联设计，0→10 mbar真空度达成时间≤10秒，较传统泵提速50%以上，适配高速封装产线（UPH≥300片）。
- 动态气流优化系统，避免树脂飞溅，确保模具腔体清洁。
2.耐树脂污染设计
- 转子与腔体表面涂覆纳米级聚四氟乙烯（PTFE）涂层，抗树脂黏附性能提升90%，清洁周期延长至3000小时。
- 模块化结构设计，关键部件（如油雾过滤器）支持快速拆换，维护耗时＜15分钟。
3. 智能温控系统
- 内置PID温控模块，维持油温在60±2℃区间，避免高温导致树脂预固化或低温抽速下降。

性能参数

指标	普旭油式真空泵	传统单级油式泵
抽至10mbar耗时	≤10秒	30~45秒
极限真空度	2×10⁻² mbar	5×10⁻² mbar
耐温范围	-10℃~80℃	0℃~60℃
树脂残留清洁周期	3000小时	500小时

核心优势
✅ 良率提升：某头部封测厂实测显示，空洞缺陷率从0.8%降至0.1%，芯片可靠性通过JEDEC MSL 1级认证。
✅ 产能突破：产线节拍从120秒/片压缩至95秒/片，单线年产能提升20万片。
✅成本优化：树脂浪费减少15%，年节省材料成本超￥80万元（按10条产线测算）。

普旭油式真空泵以10秒极速抽真空为核心突破，攻克了半导体封装工艺中气泡残留导致的可靠性难题。其耐污染设计与智能温控系统，不仅适配高节拍量产需求，更通过减少维护停机与材料损耗，显著降低综合成本。随着先进封装技术（如Chiplet、2.5D/3D封装）的普及，普旭真空泵将成为封测企业提升市场竞争力的关键设备。

品牌其他

型号0250

输送介质油泵

驱动方式电动泵

介质温度类型低温泵

材质铸铁

最大出口压力类型高压泵(32MPa≤Pd＜100MPa)

叶片式泵叶轮级数单级泵

叶片式泵吸入方式单吸泵

叶片式泵叶轮形式封闭式叶轮

叶片式泵壳体型式节段式

叶片式泵泵轴位置卧式泵

结构类型离心式

颜色黑色白色

产地广东东莞

东莞市飞粤真空科技有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式经销商-私营有限责任公司
联系人刘瑜洁
联系手机15079723172
联系固话0769-81821682
公司地址东莞市寮步镇向西村振南四巷9号1楼

主营业务

公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养

东莞市飞粤真空科技有限公司位于广东省东莞市寮步镇，公司成立于2012年，是一家专业生产、销售真空设备及进口真空泵维修、提供真空系统解决方案的高新科技企业，为广大用户提供可靠的、安全易用的真空设备及优质专业的服务。公司拥有一支集研发、生产、销售、售后为一体的强大队伍，优质的真空泵产品、专业的真空技术、在真空系统建造方面有丰富的经验以及快速响应的服务，为客户提供理想、完善的真空解决方案并赢得了广泛认可。　公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养，真空泵机组及中央真空系统设计安装；主营品牌:德国BUSCH普旭，Rietschle里其乐/伟力，Leybold莱宝，Becker贝克，英国BOC Edwards爱德华，日本ULVAC爱发科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法国ALCATEL阿尔卡特，德国Pfeiffer普发,韩国KODIVAC大亚、DOVAC斗一等国际知名品牌；飞粤真空定制的真空系统广泛用于电子半导体、太阳能光伏、生物制药、食品业、印刷业、汽车、自动化工程等行业。专业技术团队可为不同需求客户定制中央真空系统（厂务真空系统），设计、安装、调试一条龙服务。在高速成长的过程中，飞粤真空本着专业务实的实干精神，以不断优化客户体验为己任，精益求精为客户提供一流的真空设备产品服务，公司愿与新老客户合作伙伴携手共进，同谋发展，共创辉煌。